核孔膜是由重帶電粒子在絕緣物質(zhì)上打孔和化學(xué)蝕刻擴孔而成。當(dāng)重帶電粒子在絕緣物質(zhì)薄膜中的可蝕刻射程大于薄膜厚度時,在每個垂直入射的重帶電粒子路徑上產(chǎn)生的輻射損傷,可用化學(xué)方法優(yōu)先蝕刻,形成穿透絕緣薄膜的比值通道(微孔)。具有一個或多個這種穿透性微孔的絕緣薄膜稱為核孔膜。制造核孔膜的重帶電粒子分兩類:一種是重離子加速器產(chǎn)生的重帶電粒子束,另一種是裂變碎片,它可由放在核反應(yīng)堆中子束上的裂變靶產(chǎn)生。
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